日本tsubosaka進(jìn)口紫外線曝光設(shè)備精確控制 TSUBOSAKA/壺坂電機 UVL-3 特點介紹

用于光刻工藝的簡單曝光和印刷設(shè)備

桌面型和一體型，節(jié)省空間

配備彩色液晶顯示屏和十字鍵

精確控制照射時間

日本tsubosaka進(jìn)口紫外線曝光設(shè)備精確控制 TSUBOSAKA/壺坂電機 UVL-3 規(guī)格參數(shù)

[操作步驟]

① 打開電源并打開燈泡

② 燈泡穩(wěn)定后，調(diào)整并記錄輻照度

③ 設(shè)置曝光時間

（以輻照度 x 時間顯示曝光量）

④曝光 在時間曝光的情況下，快門自動打開和關(guān)閉

對于手動曝光，請在檢查曝光量的同時手動打開和關(guān)閉快門。

產(chǎn)品名稱紫外線曝光設(shè)備

產(chǎn)品名稱紫外線曝光設(shè)備

模型UVL-3

光源超高壓汞燈250W

輻照度 [mW/?]常規(guī)使用：20 - 22

最多：24

照度表面（寬x高）[毫米]照射范圍： φ155

有效： φ113 mm

照度不均[±%]有效平面內(nèi)8

顯示/操作?主機操作

/外部通信控制

接觸時間0.1 - 99.9（最長 99 小時）

樣品臺固定式/帶平面微調(diào)機構(gòu)

樣品尺寸 [毫米 x 毫米]100×100

通訊接口連接器：USB 2.0 B 型

通信：帶虛擬 COM 端口的 UART